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微压力炉石传说竞猜要如何解决其灵敏度和非线性的矛盾?


微压力炉石传说竞猜要如何解决其灵敏度和非线性的矛盾?
  微压力炉石传说竞猜发展迅速,新研制出的一类炉石传说竞猜采用压电单晶片结构,并内置前置放大器,通过放大器放大微弱信号并实现阻抗变换,从而使炉石传说竞猜具有量程小、灵敏度高、抗干扰性好等特点。这类炉石传说竞猜已广泛用于脉搏、管壁压力波动等微小信号的检测。但与此同时,对于微压炉石传说竞猜精准度的检验这一技术难题,就迫切需要简便的测量装置测量该类型炉石传说竞猜的性能。
  为了解决微压力炉石传说竞猜灵敏度和非线性的矛盾,在结构上,综合梁膜结构与平膜双岛结构的优点,采用双岛-梁结构。岛区的面积不是按比例放大或缩小。首先,为了增加灵敏度,应尽可能减小窄梁区的长度和宽度。因为从对“梁-膜-岛”结构的有限元分析和近似解析分析中发现,减小窄梁区的长度和宽度可以明显地使梁上的应力增大。并且当中间窄梁的长度约为两边窄梁长度的2倍时,器件的线性度最好。虽然有双岛限位结构,但在高过载情况下,硅膜将首先从岛的边区和角区破裂。这是因为传统的岛膜结构都是采用常规的有掩模的各向异性湿法腐蚀,从硅片背面形成硅膜和背岛。硅膜是晶面,边框和背大岛侧面都是晶面,夹角为54.74°的锐角。
    微压力炉石传说竞猜在测量过程,即压力直接作用在炉石传说竞猜的膜片上,使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使炉石传说竞猜的电阻发生变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号得过程。 
  对于微压力炉石传说竞猜来说,灵敏度和线性度是微压力炉石传说竞猜最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的炉石传说竞猜,必需探索出一种微压力炉石传说竞猜灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力炉石传说竞猜薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对炉石传说竞猜电压输出值的精确估计,在此基础上对压力炉石传说竞猜的灵敏度和线性度进行了有效仿真。
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